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深圳无尘车间一般选用整体性好、刚性强的水磨石地面。为了避免尘土、细菌积聚、滋生，这种地面须防止开裂和返潮，在施工中可采取夯实回填土，加厚地坪、选用优质水泥（水泥砂浆基底的水泥标号不得低于425号），适当配筋（对大面积厂房而言）等措施来防止地面开裂；为防止地面返潮，施工中则可采取加厚混凝土层和碎石层，湿度高的地区增加防水层（如一毡二油）等措施。有防腐要求的地面可采用聚酯砂浆整体地坪，由耐腐蚀的不饱和聚酯为胶粘剂，以石英砂或重晶砂为填料混合而成，能耐酸碱，有良好的化学稳定性和耐腐性。深圳无尘车间中较常用的是以下几种地面面层。
（1）水磨石地面：整体性好、光滑、不易起尘，可冲洗且防静电；缺点是无弹性。常用于要求经常擦洗的分装车间、针片剂车间、实验室、卫生间，更衣室、结晶工段等。
（2）耐酸瓷板地面：用耐酸胶泥贴砌，能耐腐蚀，但质较脆，经不起冲击，破碎后则降低耐腐蚀性能。这类地面可用于原料车间中有腐蚀介质的区段，由于施工复杂、造价高，宜用于有腐蚀介质滴漏的局部范围使用。例如，将有腐蚀介质的设备集中布置，然后将这一部分地面用挡水线围起来，挡水线内部用此种地面铺贴。
（3）塑料地面：光滑、略有弹性、不易起尘、易擦洗清洁、耐磨、耐腐蚀，但易产生静电，受紫外线照射易老化。因此不宜用于经常采用紫外线灯灭菌的场所。一般用于更衣室、包装间、化验室等房间。由于塑料板与混凝土基层的伸缩性能不同，不宜用于大面积车间，否则会引起起壳现象。
